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馬鞍山新樺氣體有限公司

特種氣體在LED中有哪些應(yīng)用

信息來源:reedkrakoff.com.cn   2021-07-03 10:00:51

特殊氣體是指在光電子、微電子等領(lǐng)域,尤其是大規(guī)模集成電路、液晶顯示器等制造過程中不可缺少的基硅性支撐原料。它的純度和潔凈度會直接影響向光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)的指標和成品率,并且從根本上制約著電路和器件的性和準確性。


隨著化合物半導體市場的不斷擴展,特殊氣體的需求量也不斷增加。目前在臺灣和日本的化合物半導體在市場上的占有率較高,在近年來,中、寒的發(fā)展勢頭強勁,北美、歐洲的市場占有率也不斷提高。


半導體工業(yè)用氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達百余種。半導體工業(yè)特種氣體按照應(yīng)用分類,主要包括:   


1、硅族氣體:含硅基的硅烷類,如硅烷、二氯二氫硅、乙硅烷等


2、摻雜氣體:含硼、磷、砷等三族及五族原子之氣體,如三氯化硼、、磷烷、砷烷等。   


3、蝕刻清洗氣體:以含鹵化物及鹵碳化合物為主,如錄氣、三弗化氮、溴化氫、四弗化碳、

六  弗烷等。


4、反應(yīng)氣體:以碳系及氮系氧化物為主,如二氧化碳、氨、氧化亞氮等。

   

5、金屬氣相沉積氣體:含鹵化金屬及有機烷類金屬,如六氟化鎢、三甲基鎵等。


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